科技 Ushio出售旗下EUV光源研发子公司_cnBeta 硬件新闻

感谢Dryiceboy2013的投递
著名日本EUV光源厂商Ushio宣布将终止与EUV光源有关的研发工作，并将把相关的研究部门卖给ASML公司。这意味着目前市场上的EUV光源厂商只剩下了两家，即已经被ASML收购的Cymer，以及另外一家Gigaphoton。

Ushio的德国子公司Xtreme Technologies专门负责EUV光源技术研发，之前一直是Cymer公司的主要竞争对手。出售Xtreme Technologies之后，这家德国子公司的30名员工将纳入ASML旗下，因此Ushio公司的运营成本将有可观的下降。


LDP技术原理图

与Cymer和Gigaphoton的LPP（激光等离子体技术）路线不同，Xtreme Technologies走的是将DPP与LPP糅合在一起的所谓LDP技术（激光辅助放电等离子体技术）路线。