这几年来台积电、三星、Intel等半导体巨头宣布扩产，这几家投入了数千亿美元新建工厂，然而芯片产能提升还要依赖生产设备的增长，其中ASML的光刻机是关键，10亿一台的EUV光刻机都是抢着买的，现在产能瓶颈严重。 ASML也要增产了，据财联社消息，全球光刻机龙头大厂ASML在其新加坡工厂的开幕式上宣布，将继续在该工厂兴建第二座制造车间，预计将于2023年初投产。 扩建完成后，将使得ASML在新加坡的产能提升到原来的3倍，同时全球产能也将倍增。 不过ASML在新加坡工厂的三倍产能并不代表者光刻机的整体产能也能提升这么多，因为ASML只在荷兰总部组装光刻机，全球6大生产基地的60多家工厂只是提供零部件，新加坡的工厂也是如此。 以最先进的EUV光刻机为例，长度超过10米、高度达2层楼的EUV，每台有超过10万个零件，加上3000条线缆、4万个螺栓及2公里长的软管等零组件，最大重量达180吨，仅仅是运输都要包三辆专机或者20多辆卡车。
